Pengaruh Waktu Deposisi dan Temperatur Substrat terhadap Pembuatan Kaca Konduktif FTO (Fluorine-doped Tin Oxide)

Pembuatan FTO (flourine-doped tin oxide) ini diharapkan dapat menggantikan fungsi ITO (indium tin oxide) karena proses pembuatan yang sederhana dan biaya yang relatif rendah. Prekursor timah klorida dengan doping flourine yang dipreparasi melalui metode sol-gel dengan proses pelapisan dengan teknik spray pyrolisis dapat dipertimbangkan sebagai suatu terobosan baru di dalam struktur device sel surya tersensitasi zat pewarna. Percobaan ini menggunakan bahan baku timah (II) klorida hidrat (SnCl2.2H2O) sebagai prekursor dan amonium florida (NH4F) sebagai doping dengan rasio 6 persenberat dengan variasi temperatur 250, 300, 350, 400 °C dan dengan variasi waktu 5, 20, 30, dan 40 menit. Hasil percobaan menunjukkan bahwa semakin lama waktu deposisi maka akan semakin kecil nilai resistivitas kaca konduktif. Namun semakin lama waktu deposisi akan mengurangi nilai transmitansi. Pada percobaan ini menghasilkan transmitansi tinggi dan resistivitas rendah diperoleh pada variasi waktu deposisi 5 menit dengan temperatur substrat 300 °C dengan nilai resitivitas 3,16 x 10-4 Ω.cm dan nilai transmitansi 86,74 persen. Metalurgi Vol 32 No.1 (2017) 1-8